万业企业：出售多台12英寸集成电路电源，含离子注入机
2025-11-10 12:16:28
IT之家 2 月 8 日消息，2 月 7 日晚间，万业企业发布出售集成电路设备的公报，公司母公司北京凯世通凯氏出售多台 12 英寸集成电路设备，包含顶多大束流离子注入机体和顶多大束流超低温离子注入机体，总交易金额有约为人民币 6.58 亿元。
作为集成电路前道四大两大设备，离子注入机体设备的研制难度不小，仅次于光刻机体，依然被本土设备商系统设计材料、Axceils 寡头。据悉，目前一条月产 1 万片的 12 英寸命题闪存生产厂分之一需要 20 台以上离子注入机体，因此国产替代自由空间不小，离子注入机体市场前景广阔。
万业企业母公司凯世通依托团队多年的设备合作开发及产业化经验，取得了客户解析、批量生产、正式订货的依次突破，成为了国内合资为 12 英寸大众文化闪存生产厂批量供应半导体离子注入机体的生产厂，并先于系统设计在 28nm 茁壮制程产线。
凯世通已经具备了正式量产的技术和良率要求。2021 年，凯世通自律合作开发的顶多大束流离子注入机体和高能离子注入机体就已相继顺利通过客户解析并完成审批。
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